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基于光刻膠熱熔法的全息光柵表面粗糙度平滑處理（PDF）
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軟件大小： 377.00 KB 解壓密碼： 軟件評級： ★★★ 開 發(fā) 商： Frank 本月下載： 軟件類別： 國產(chǎn)軟件 軟件授權(quán)： 免費版 軟件語言： 英文 運行平臺： Win9x/NT/2000/XP/2003 更新時間： 2011年12月15日 -
內(nèi)容介紹
根據(jù)表面熱動力學原理提出了一種成本低廉、制作周期短、易于實現(xiàn)的光刻膠熱熔法,闡述了光刻膠熱熔法的基本原理,探討了光刻膠熱熔對光刻膠光柵表面刻槽形狀的影響。實驗中,分別對經(jīng)過和未經(jīng)過熱熔處理的光刻膠光柵做了離子束刻蝕。結(jié)果表明,利用表面張力作用可使熔融狀態(tài)下的光刻膠光柵刻槽表面變得平滑,粗糙度降低,并且成功地在K9 玻璃基底上得到了槽形較好的全息光柵。
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